期刊发表网电话

全国热线
022-83699069

集成电路洁净室建设质保体系的运行管理

作者: 发布时间:2020-01-21 09:31:09 阅读: 51 次

 

摘要:本文从预防控制、过程监督、完工验收三个方面简要介绍了集成电路洁净室建设质保体系的运行管理重点。

关键词:集成电路 洁净室 质量保证体系

 

工信部2012年印发的《集成电路产业“十二五”发展规划》中提到到十二五末期,“我国集成电路产量将超过1500亿块,销售收入达3300 亿元,年均增长18 %,占世界集成电路市场份额的15%左右。”为了完成这一目标,大型集成电路制造工厂的建设投产任务迫在眉睫。

集成电路制造工厂,一般是以要求高度防尘、防震等性能的超高洁净的制造环境即所谓洁净室为核心组成的。洁净室内供给高纯度的水、空气及各种特殊的气体和化学药品,配备高可靠性的监控系统,才能形成高洁净度的环境。所以洁净室的建设是集成电路工厂建设的核心,洁净室建设质量保证体系的运行是确保洁净室建设项目顺利完成的关键。集成电路制造工厂洁净室建设质量保证体系的运行,应按照预防控制、过程监督、完工验收三个阶段进行。

一、预防控制

(一)编制施工质量计划

在洁净室工程施工前,通过编制施工质量计划,确定合理的施工程序、施工工艺和技术方法,以及制定与此相关的技术、组织、经济与管理措施,用以指导施工过程中的质量管理和控制。

(二)培训、考核、优选施工人员

参与洁净室建设的人员都应有必要的洁净室建设经验,明确的分工和职责,特殊工种作业人员必须持证上岗。同时根据各施工阶段的不同要求,组织必要的培训和考核以检验施工人员的素质。

(三)优选设备材料供应商

为了保证工程质量,必须选择论证许可、有较高技术和资金保证的供应商,选购有产品合格证、有社会信誉的产品,这样既可控制材料质量,又可降低材料成本。

(四)建立质量信息系统

为保障洁净室建设工程项目质量管理体系的实施,应建立项目施工的质量信息系统,从工程质量信息收集开始,经过分析、传递、处理、反馈五个环节的操作,及时地向建设方、政府部门、监理方、及施工方提供准确的工程质量信息。

二、过程监督

(一)洁净管控

洁净厂房与一般厂房建设的首要区别就是洁净管控。洁净管控的基本要求是所有进入洁净施工区域的人员必须经过培训,挂牌进入;进入洁净区域人员的必须穿着干净的衣裤鞋;洁净区域内不得饮食;施工过程中应做到当天施工当天清理现场,务必做到工完料清。

(二)设备材料检验试验

承包商在工程中标后,应根据合同要求和设计文件,提交设备和材料信息送审表,经建设方认可后方可采购,以后按送审表的内容在设备和材料进场前提交设备材料审验申请单,经建设方认可方可进场。所有进场的材料设备必须要有质保书,建厂后,建设方会同监理及承包商确认设备材料的型号材质是否符合要求,并按规定取样做试验。如需第三方检验认可的设备和材料时,须由建设方认可的测试机构进行检验,该测试机构应出具书面的测试报告,送监理和建设方核查。

(三)质量控制点管理

对工程的使用寿命、可靠性、安全性等有严重影响的关键特性、关键部件或重要影响因素;对工艺上有严格要求,对下工序工作有严重影响的关键质量特性、部件;对紧缺物资可能对生产安排重大影响的关键项目等,都应通过质量计划中设置的质量控制点跟踪和控制。质量控制点分旁站点(S点)、见证点(W)和停工点(H),任何一个质量计划均至少有两个停工点。

(四)不合格项管理

洁净室工程在施工中应对不合格项进行管理,防止不合格项被误用或误装,防止不合格活动继续进行。不合格项管理是质保体系中一个非常重要和不可或缺的环节。不合格项管理的内容包括:1.控制不合格物资进入项目施工现场;2.严禁不合格工序未经处置而转入下道工序;3.对验证中发现的不合格产品和过程,应按规定进行鉴别、标识、记录、评价、隔离和处置。

三、项目验收

集成电路制造工厂洁净室工程的验收应按工程验收和使用验收两阶段进行。

()工程验收

工程验收应有建设方负责组织,由建设、施工、设计、监理各方负责人参加,组成工程验收组负责执行和确认。洁净室的工程验收应按分项验收、施工验收和性能验收三阶段进行。

1.分项验收是一种通过阶段质量检查评定实行的过程控制。洁净室工程的分项验收的重点按合同要求并参照洁净室施工及验收规范进行(GB 50591-2010)。分项验收未通过时,不得开展下一阶段的项目施工。

2.施工验收应首先对工程的设计符合性进行确认,对相关设计施工文件是否完备进行检查;然后对工程外观进行检查,着重检查平面布局和建筑装饰应符合设计要求,装饰材料应符合相关标准的节能、环保要求。设计符合性确认后,应进行空态条件下的安装确认,对安装的系统和设备进行外观检查。以上检查完成后进行依次进行设备单机试运转检查和正常联合试运转以完成施工验收。

3.性能验收一般由建设方委托有质检资质的第三方承担,对洁净室综合性能全面评定进行性能检验和性能确认。目前国际上最为认可的洁净室性能测试是美国环境平衡局(NEBB)的洁净室测试规范。NEBB测试通过对洁净室内气流量测、压力测试、滤网泄露测试、无尘室洁净度测试、温湿度量测、照度量测、恢复率测试、粒子沉降测试、振动噪音测试、导电度量测、静电量测等对洁净室进行全方位的测试。

(二)使用验收

洁净室的使用验收在ISO14544-4中被明确提出,使用验收是动态验收,不仅有施工的因素,也有使用的因素,应有建设方、施工方协商制定使用验收方案,在“工艺全面运行,操作人员在场”的动态条件下由建设方组织进行,使用验收重复综合性能全面评定检验的全部或部分项目,判断是否满足使用要求,对不满足的部分应查明原因,分清责任。各性能参数的动态验收标准,测点布置应由建设方、施工方和检验方共同商定并载入协议。

参考文献:

GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范